- スキャナの校正サンプルセットです
- 正確なパターンを観察し、ピッチ幅を元に校正値を算出できます
- 従来型AFMにもご使用できます
 
| 品名 | 型番 | ||
|---|---|---|---|
| 校正サンプル (セット) | 標準スキャナ用 | (セット内容) XY用サンプル :1個 Z用サンプル :1個 校正用カンチレバー :2本 校正手順書 :1部 | CS-ZS20-N1 | 
| 広域スキャナ用 | CS-ZW100N2 | ||
| 超広域スキャナ用 | CS-ZU500N3 | ||
| 校正サンプル (単品) | XY用サンプル | XY-150A1 | |
| Z-標準スキャナ用 | ZS20-N1 | ||
| Z-広域スキャナ用 | ZW100-N2 | ||
| Z-超広域スキャナ用 | ZU500-N3 | ||
| 校正用カンチレバー | CA-NN1 | ||